(1）往復真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵是靠活塞往復運動或旋轉將氣體吸入、壓縮并排出。它們的優點是新投入使用的泵真空度相對比較高，但是活塞是運轉部件，因此活塞的磨損是避免不了的，隨著檢修次數的增加工作真空度將不斷下降，直至滿足不了生產的要求。此類泵工作噪音大，耗油量大，故障率高也是其致命的缺點，一般都需要開一臺備用一臺，
這無形中增加了設備投資與運行費用。另外如果用此類泵抽吸水蒸汽等可凝性氣體，將使潤滑油乳化，因此只能應用在抽吸不凝性（空氣類）氣體，也不能抽吸帶有顆粒狀的介質，這也就限制了其適用范圍。
（2）水環真空泵是靠裝在泵殼內的帶有多葉片的偏心轉子旋轉，把水拋向泵殼形成與泵殼同心的水環，水環與轉子葉片形成了容積周期變化從而將氣體吸入、壓縮并排出。它的優點是低真空時抽氣量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性氣體。它的缺點是真空度低；不能抽吸帶有顆粒狀的介質；轉子高速旋轉不易做防腐處理，因此不能抽吸具有腐蝕性的介質。
這無形中增加了設備投資與運行費用。另外如果用此類泵抽吸水蒸汽等可凝性氣體，將使潤滑油乳化，因此只能應用在抽吸不凝性（空氣類）氣體，也不能抽吸帶有顆粒狀的介質，這也就限制了其適用范圍。
（2）水環真空泵是靠裝在泵殼內的帶有多葉片的偏心轉子旋轉，把水拋向泵殼形成與泵殼同心的水環，水環與轉子葉片形成了容積周期變化從而將氣體吸入、壓縮并排出。它的優點是低真空時抽氣量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性氣體。它的缺點是真空度低；不能抽吸帶有顆粒狀的介質；轉子高速旋轉不易做防腐處理，因此不能抽吸具有腐蝕性的介質。
