因為化工或者是制藥等相關工藝氣當中會不同程度的含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，也正是因為如此，就干式真空泵對于我們來講也就需要進行特殊處理。對于干式螺桿真空泵內部結構簡單，兩根轉子、泵腔也就應該要注意去做防腐方面的處理，這時候也就應該要注意選用鎳磷涂層與特氟龍兩種涂層。
爪式真空泵比較難做防腐方面的處理，各級隔板之間幾乎沒有辦法去做表面處理，轉子表面的防腐涂層也就比較容易在裝配的時候不會發生損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，這時候也就不可以抽取易燃、易爆以及其具有腐蝕性的氣體。
說到真空泵設備的換油，就真空泵設備在連續工作三月到半年之后，這時候應該要注意去進行換油一次，在濕度上比較大的地區，在潮濕季節工作的泵，或被抽氣體污染很大的，就這一點來講的話，就其在很大的程度上也就是要注意去根據具體情況逐情縮短換油時間。
真空泵設備在進行換油的時候，首先應該要注意把泵拆除真空系統，之后也應該把底盤電機一端墊高些，打開放油塞放油，轉動著真空泵，捂住排氣口，使腔內污油全部從放油口放出，再從進氣口處加入新油100-500ML持續轉動5-10轉以上對于內部進行清洗，照此操作3-5次，特污油放清之后，再裝上放油塞，把泵放平，從進氣口及加油孔處分別加入新油，換油即告完畢。
爪式真空泵比較難做防腐方面的處理，各級隔板之間幾乎沒有辦法去做表面處理，轉子表面的防腐涂層也就比較容易在裝配的時候不會發生損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，這時候也就不可以抽取易燃、易爆以及其具有腐蝕性的氣體。
說到真空泵設備的換油，就真空泵設備在連續工作三月到半年之后，這時候應該要注意去進行換油一次，在濕度上比較大的地區，在潮濕季節工作的泵，或被抽氣體污染很大的，就這一點來講的話，就其在很大的程度上也就是要注意去根據具體情況逐情縮短換油時間。
真空泵設備在進行換油的時候，首先應該要注意把泵拆除真空系統，之后也應該把底盤電機一端墊高些，打開放油塞放油，轉動著真空泵，捂住排氣口，使腔內污油全部從放油口放出，再從進氣口處加入新油100-500ML持續轉動5-10轉以上對于內部進行清洗，照此操作3-5次，特污油放清之后，再裝上放油塞，把泵放平，從進氣口及加油孔處分別加入新油，換油即告完畢。
真空泵設備在進行換油的時候不宜長久開動電機，這時候也就會使得排氣閥片跳動過于劇烈和疲勞；真空泵設備的換油，也應該嚴禁用煤油，汽油，酒精等對泵作非拆卸的清洗；若是其停泵時間上比較長，應該要注意取下排氣罩放上排氣塞，封閉進氣口，放凈積水。
