一個較完善的真空系統(tǒng)由下列元件組成:
1.抽氣設(shè)備:例如各種真空泵;
2.真空閥門;
3.連接管道;
4.真空測量裝置:例如真空壓力表、各種規(guī)管;
5.其它元件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。
獲得真空用真空泵。真空泵按工作條件的不同分為兩類: 能夠在大氣壓下工作的真空泵稱為初級泵(如機械泵),用來產(chǎn)生預(yù)備真空。 需要在預(yù)備條件下才能工作的真空泵稱為次級泵(擴散泵),次級泵用來進一步提高真空度,獲得高真空。
1.抽氣設(shè)備:例如各種真空泵;
2.真空閥門;
3.連接管道;
4.真空測量裝置:例如真空壓力表、各種規(guī)管;
5.其它元件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。
獲得真空用真空泵。真空泵按工作條件的不同分為兩類: 能夠在大氣壓下工作的真空泵稱為初級泵(如機械泵),用來產(chǎn)生預(yù)備真空。 需要在預(yù)備條件下才能工作的真空泵稱為次級泵(擴散泵),次級泵用來進一步提高真空度,獲得高真空。